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昀通科技UVLED解膠機可用于晶圓解膠、芯片解膠等UV解膠應(yīng)用，設(shè)備大面積均勻曝光，良率高，解膠層厚度一致性＞98%，減少局部殘留或過曝風(fēng)險，可低溫高效解膠，熱損傷極小，昀通科技UVLED解膠機發(fā)射特定波長紫外光，激發(fā)鍵合膠中的光敏劑發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，實現(xiàn)低溫解膠（＜80℃），避免高溫導(dǎo)致的晶圓翹曲、金屬層氧化或低k介質(zhì)損傷，適用于熱敏感材料（如有機基板、柔性電路、聚合物透鏡）。
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